集成電路制造技術范文
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第1篇
中圖分類號：TN305.94 文獻標識碼：A 文章編號：1671-7597（2013）12-0105-02
集成電路制造工藝復雜性與裝備精密性對溫度控制技術提出寬溫區、大功率、超精密等嚴格要求。如刻蝕工藝設備中，由于不同刻蝕方法要求反應腔內的溫度不同，需要冷卻系統輸出溫度范圍在-20℃～80℃、精度優于±0.5℃的循環冷卻介質。硅片基底進行薄膜化學氣相沉積工藝時，反應腔內溫度達到300℃～1000℃，對冷卻系統的溫控精度要求不高，主要目的是帶走內部大量熱量，制冷功率達到100 kW、甚至更高。納米級（100 nm）光刻機要求內部投影鏡頭和關鍵區域的溫度穩定在±0.01℃，隨著光刻工藝特征線寬（CD）的不斷減小該指標還需不斷提高，為此要求冷卻系統輸出的冷卻介質的溫度控制精度在±0.01℃。
冷卻系統中制冷技術是最為關鍵的技術，制冷技術的選擇恰當直接決定水冷系統的指標實現、方案復雜性與經濟性等。
1 冷卻系統介紹與制冷技術分析
上述冷卻系統是專用提供溫度、壓力、流量受控的循環冷卻介質的設備。它對內部加熱、制冷執行器進行控制，實現內部循環冷卻介質的溫度控制，并與被控設備進行管路連接后，輸送循環冷卻介質至被控設備進行熱交換，最終實現對被控設備的溫度控制、熱量轉移的功能。如圖1所示水冷系統主要由加熱器、制冷系統、水泵、水箱、傳感器、冷卻水進出口組成，包含循環冷卻介質回路、冷卻水回路。制冷系統的主要作用是將循環冷卻介質帶出的熱量通過熱交換轉移至工廠冷卻水，最終帶出設備。
制冷技術主要有三種方法，利用物質相變的吸熱效應實現制冷；利用氣體膨脹產生的冷效應進行制冷；利用半導體的熱電效應實現制冷。其中以物質相變原理的蒸汽壓縮式制冷最為常見，具有制冷效率高、冷卻溫度低的特點。壓縮式制冷適合溫度達到-20℃的低溫冷卻場合，并且對冷量控制技術的研究目前也有很大進展，如數碼蝸旋式變頻壓縮機控制技術、PWM電子膨脹閥等，能夠實現較高的溫控精度。
熱電制冷技術是利用直流電經過不同導體時發生熱量轉移的原理，利用熱電制冷原理制造出的制冷元器件稱為半導體制冷片，可以通過調節它電流的大小實現冷量的調節，具有調節精度高、制冷功率小的特點。此外，制冷片的冷卻效率與它冷、熱面的溫差有很大關系，為保證一定的冷卻效率，冷熱面的溫差需要控制在一定范圍內，這限制了熱電制冷的制冷溫度。雖然光刻機內部投影鏡頭和關鍵區域的溫度控制精度要求高，但主要用來平衡環境空氣的溫度波動及傳感器、板卡的熱量，冷卻功率小，并且溫度點在20℃左右。因此，熱電制冷技術十分適合于光刻工藝設備的超精密溫度控制。
此外轉移熱量也可以通過冷卻水與循環冷卻介質直接進行熱交換器實現，即通過水、水強制對流的方式。該方式的傳熱系數達到2000 W/（m2·k）～15000W/（m2·k），在熱交換兩側溫差較大時可以實現很大的熱交換功率。硅片基底進行薄膜化學氣相沉積工藝中，對溫度點沒有嚴格精度要求，主要作用是帶出大量熱量、冷卻反應腔體的溫度，水、水熱交換的制冷方式比較適合。
2 蒸汽壓縮制冷系統
蒸汽壓縮制冷系統如圖2所示：制冷系統由壓縮機、冷凝器、氣液分離器、干燥過濾器、示液鏡、膨脹閥和蒸發器組成。冷卻水回路包括水力調節閥，循環冷卻介質回路包括流量調節閥。壓縮機制冷系統中的蒸發溫度是較為恒定溫度點，循環冷卻介質溫度為-20℃時蒸發溫度一般設置略低-20℃，如果循環冷卻介質的溫度變為80℃將造成蒸發溫度過高引起高低報警。為此，在高溫工況下通過循環冷卻介質回路的流量調節閥在換熱前進行分流，避免了壓縮機高低壓報警。控制系統設計采用邏輯PID控制，運用PID算法分別對電子膨脹閥、流量調節閥和加熱器的輸出量進行調節，其中電子膨脹閥PID控制旨在監控壓縮機吸氣溫度，避免吸氣溫度過高引起高、低壓報警；流量調節閥PID控制旨在控制混流完成后循環冷卻介質的溫度，使它略低于設定工況；最終通過加熱PID控制實現出水口優于±0.5℃的溫度控制。
3 熱電制冷技術
半導體制冷片經過直流電經過后會形成冷、熱端，利用它的冷端可以進行制冷。如圖3所示，將制冷片的冷、熱端分別貼在冷端散熱器與熱端散熱器，循環冷卻介質經過冷端散熱器被冷卻，半導體制冷片將熱量轉移至熱端散熱器，最終冷卻水經過熱端散熱器將熱量帶走。半導體制冷片與金屬壁間為熱傳導，冷卻水、循環冷卻介質在散熱器內為對流換熱。
設計冷、熱端散熱器時需進行對流換熱分析、熱傳導分析，還應考慮制冷片的溫差與制冷量的關系、循環水的溫控范圍、冷卻水的溫度波動范圍，以及目標制冷功率與最大電流等。降低半導體制冷片冷、熱端的溫差可以提高制冷效率。熱端散熱器的換熱系數應設計大于冷端散熱器，因為它除了轉移循環冷卻介質帶出的熱量外還要帶出半導體制冷片自身發熱的熱量。通過控制半導體制冷片的供電電流大小來實現制冷量的調節，供電電路包括功率控制器、整流橋、保護元件等，功率控制器根據輸入的控制信號調節輸出三相電壓的大小，整流橋將交流電壓轉換為直流電，供給制冷片。溫度控制器根據實際溫度與目標溫度的差值，經處理器的算法運算，最終向功率控制器輸出模擬量的控制信號。
4 水、水熱交換制冷
循環冷卻介質通過換熱器與廠務供應的冷卻水進行熱交換來實現制冷。如圖4所示，循環水回路包括溫度傳感器、流量調節閥；冷卻水回路包括溫度傳感器、流量傳感器、流量調節閥。循環冷卻介質溫度的調節是通過調節與冷卻水發生熱交換的支路流量實現，溫度傳感器、流量調節閥形成溫度反饋控制系統。冷卻水的溫度與流量會影響制冷功率，因此在冷卻水回路中增加溫度、流量傳感器進行監測。熱交換器的設計與對流量調節閥控制是該方案的關鍵。
根據廠務冷卻水的技術參數及使用工況確定熱交換器的設計輸入的參數：循環冷卻介質側的最低進水溫度48℃、出水溫度33℃、制冷功率100 kW、流量100 L/min；冷卻水進水最高溫度18℃、出水溫度43℃、流量60 L/min；經分析換熱系數為4350 W/（m2*K）、換熱面積2.3 m2。選用西門子兩通閥對流量進行調節，選型時應考慮最小調節量、響應時間。選用歐姆龍PLC作為控制器，根據循環冷卻介質的當前溫度與設定溫度對兩通閥的開度進行調節，實現溫度控制，選用科寶公司流量傳感器、溫度傳感器對冷卻水流量、溫度進行監測。該方案主要換熱器與流量調節閥，簡單、經濟性高。
5 結論
集成電路制造工藝設備的溫度控制涉及寬溫區、大功率、超精密的復雜要求，制冷技術是溫控技術的關鍵。本文分析上述溫控特點與制冷技術，對寬溫區（-20℃～80℃）場合提出蒸汽壓縮式制冷方式，對大功率換熱（100 kW）場合提出水、水熱交換的制冷方式，對超精密（±0.01℃）場合提出熱電制冷方式并對各方案的原理實現、控制技術進行探討，提出旁通式蒸汽壓縮機制冷技術、基于流量調節的溫度反饋控制系統、基于半導體制冷片的制冷系統設計等。
參考文獻
[1]機械工程師手冊編委會.機械工程師手冊[M].機械工程出版社，2007.
[2]姚漢民，胡松，刑延文.光學投影曝光微納加工技術[M].北京工業大學出版社，2006.
第2篇
關鍵詞：高壓輸電線；造價分析；控制；措施
DOI：10.16640/ki.37-1222/t.2016.08.154
1 前言
經濟發展直接導致區域用電規模的擴大，在這樣的背景下，需要加強電網系統的配電能力，從而對于電力的穩定性和質量帶來一定的影響，因此電力系統必須推進輸電線路的建設以及完成區域內高壓輸電線施工。高壓輸電線路是電力系統建設中的基礎項目，但是有在造價管理中存在潛在的風險較多，往往會在一定程度上降低高壓輸電線路建設的管理水平，因此針對高壓輸電線路管理存在的問題，提出相應的解決策略，能夠有效避免出現投資失控等問題。
2 輸電線路工程造價分析
工程造價管理是任何一個項目管理的重要一部分，在高壓輸電線路施工中也是重要的一部分，規范施工過程中的成本投入以及落實相應的預算支出，可以最大程度的提高施工企業的經濟效益。隨著我國大規模的投入高壓輸電線路建設，很多企業的造假管理一直保持高風險，主要體現在以下幾個方面：
2.1 多樣性
高壓輸電線路由于線路較長，在施工的過程中，由于不同區域的施工難度和需要的人手材料不同，所以必須重視施工過程中的平衡，實現多主題的控制，避免由于造價管理單一帶來的風險；
2.2 動態性
高壓輸電線路自施工的過程中常常會受到許多因素的影響，造價工程無法保持在一個靜態水平上；
2.3 系統性
高壓輸電線路中各項子工程存在內在的而聯系，在進行造價管理的過程中，不能獨立進行劃分，存在一定的整體和系統性。
3 高壓輸電工程造價的影響因素
高壓輸電線路單位主要是以“萬元/km”作為指標是，隨著我國高壓輸電工程建設過程中更加的多樣化，相應的氣離散程度也會越來越復雜，影響高壓輸電工程造價主要包括以下幾個方面：
3.1 自然環境因素
不同地區由于環境差別較多，對于平原地帶，其相關的造價較低，對于處于山區和風速較大的地區，其造價也會在一定程度上提高，根據目前相關研究表明，地區的風速沒提高一級，相應的桿塔數量會增加3成，相對而言，增加了工程造價。
3.2 技術因素
同樣技術原因也會對工程造價產生較大的影響，目前的研究發現，在進行高壓輸電線路建設中，需要隊工線路的輸送量，導線的界面和回路等參數進行具體的分析，其中在這些參數中，輸送量是影響造價工程最為重要的因素。如果要擴大工程的輸送量，就必須在一定程度上增加導線的斜面積，因此在堿性輸電網的建設之前，需要選擇合理的輸電導線，這樣能夠在一定程度上提高輸電能力。
如果上述工作沒有統計好，在進行實際施工中，截面積就會大大增加，截面積的巨大變化會造成耗材指標的變化，最終對整個工程的耗材也會產生較大影響。所以，在施工設計的過程中，需要合理的選擇導線分裂數，緊湊施工的線路一方面可以通過增加分裂數來完成，另外導線方案的實施和塔形的合理建設也能夠降低工程造價，也可以提高輸電設備的電氣功能。
耐張比是高壓輸電線路施工的影重要概念，值得是耐張塔的數量和桿塔總數量的比值，由于耐張塔的結構較為復雜，同時耐張塔的結構較為復雜，對于材料和結構的要求更高，因此會增加工程的造假，耐張比需要控制在一定的范圍以內。另外，在線路設計中，需要盡量的減少曲折系數，受到區域的影響，曲折系數會有很大的變化，但是無論曲折系數怎么變化，最終需要降低曲折系數，實現造價控制。
4 控制輸電線路工程造價的技術措施
4.1 做好施工準備工作
在進行高壓輸電線路施工之前，對線路進行有效的勘察較為重要，由于高壓輸電線路較長，同時在進行施工的過程中宏還會涉及到林區的砍伐，房屋的拆遷，合理的規劃線路是施工準備工作的重要一步。
線路優化的原則是減少房屋的拆遷，同時還需要避開一些煤炭長等比較稀疏的地帶，另外在對地形進行勘察的過程中，還需要沿線地區污染位置的分布圖，有效規劃高壓輸電線路周邊污區的分布圖，能夠有效實現絕緣配置優化，在技術上實現串聯布置的方式，降低施工成本。
4.2 做好桿塔排位設計
桿塔的排位問題一直是設計中的重點，在進行桿塔排位的過程中，可以采用黃金分割法，對噶他的水平在和垂直在和等受力進行分析，從而最終的確定桿塔的數量，研究表明，通過科學設計最大能夠降低3%它重。另外在進行施工的過程中，需要做好基礎的配置工作，根據桿塔設計的位置，做好土方開挖量的計算，對施工現場的地下水和土石的開挖量進行計算，做好相關鋼筋材料使用的預算工作。
4.3 優化材料運輸、使用
針對具體的造假控制，一方面按照環境勘測人員勘測的數據，對塔基的平面圖做好準確的計算工作，高壓輸電線路施工需要做到零基礎進行開挖，一方面能夠降低施工過程中的成本，另外一方面能夠降低水土流失，由于工程造價中，運輸費用在工程造價中占有非常重要的比例，在材料的選購中，做好采購點的制定和運輸方案的選擇，能夠最終降低造價成本。此外，材料的合理利用是造價管理的重要方面，優化材料，避免材料浪費。因此從這個角度上講，高壓輸電線路的施工造價管理貫穿于整個工程造價中，采用全面的造價管理，能夠為企業合理的工程造價提供指導，保證在高壓輸電線路質量安全的前提下，最大程度的降低工程造價。
5 結束語
綜上所述，高壓輸電線路和普通的工程建設存在一定的差異，由于建設較為復雜，同時工程的不確定因素較大，因此在進行高壓輸電線路施工中，為了實現造價控制，必須在高壓輸電線路建設之前，做好相應的準備工作，優化線路設計，從而保證高壓輸電線路質量的前提下，實現高壓輸電線路的造假控制。
參考文獻：
[1]楊巍.高壓輸電線路工程造價分析及其控制[J].環球市場信息導報：月末版，2014（07）：106.
[2]史瑋.浙江省輸電線路工程造價管理研究[D].華北電力大學， 2015.
第3篇
關鍵詞：輸電線路，線路設計，工程造價
一、設計階段工程造價控制存在問題分析
1.設計深度不夠使工程造價得不到有效控制
近幾年來,電力工程的建設項目多、進度要求快, 各級電力勘察設計單位承擔的設計任務也大幅增加。一些設計單位在遇到設計任務重、時間緊的時候,往往無法做到深入細致的調查研究,工作敷衍了事,未按國家標準進行設計,對具體設計方案缺乏比較,以及設計水平不高,審查制度不嚴等,最終造成項目設計深度不夠、套用圖紙不適等導致設計變更增多, 使工程造價得不到有效控制。
2.工程設計和投資控制聯系不夠緊密
在實際工作中, 由于送電工程專業技術性強的特點, 一般都是勘測設計人員根據設計委托進行現場調查、勘測和方案比較, 分階段提供條件給造價人員編制估算或概預算。但是長期以來,技術人員由于缺乏經濟觀念,往往無法提供編制概預算所需的全部條件;而從事概預算編制的人員不熟悉工程設計和施工的工藝,無法吃透相關定額、標準的內涵,不能主動收集或向技術人員索取所需的全部條件,導致編制的概預算存在缺項、漏項或重復計算、高估冒算的情況,難以真實反映施工現場費用,有效地控制造價。
3.缺乏信息反饋和項目后評價程序
項目完成后由于缺乏造價成本信息反饋和缺少項目的后評價程序使設計單位缺少機會了解實際發生的工程成本, 無法進行事后分析, 在以后工作當中又有可能將問題帶入下一個項目中, 不能進一步提高造價控制工作的質量。
二、設計階段工程造價控制的措施
1.健全設計單位經濟責任制,嚴格控制工程成本,提高競爭意識
設計單位和主管部門對于設計節約和浪費應制定明確的獎罰標準:對因設計原因而造成的工程浪費、工期延誤及超出投資限額的損失,要追究設計人員責任;對科學合理、經濟的方案予與獎勵。促使設計人員增強主觀能動性,提高自身素質和相互間競爭的能力, 增強為業主控制投資成本, 提高競爭意識。
2.推行限額設計,全面推廣工程典型造價運用工作,加強技術和經濟的有機結合
所謂限額設計,就是按照批準的可行性研究報告和投資估算,在保證質量、功能要求的前提下,控制初步設計;按照批準的初步設計編制概算,控制施工圖設計和預算;同時,各專業要按分配的投資額來控制設計。限額設計必須貫穿于勘察設計的全過程。
推行限額設計有利于強化設計人員對工程全過程的造價意識, 有利于經濟管理人員及時進行造價計算, 為設計人員提供信息, 使勘測設計小組內部形成有機整體, 克服設計深度不夠及勘測設計相互脫節的現象, 改變設計過程不算賬、設計完成見分曉的現象, 使投資達到動態控制的目的。同時, 推行限額設計還可以促使設計和造價人員進行項目全壽命費用的分析, 使他們不僅要考慮項目一次性的投資, 還要考慮施工階段和運行后的經濟費用。比如: 在輸電線路工程項目設計過程中對于線路選線定位以及在雷區的防雷、冰區的避冰、抗冰、防冰、融冰等對運行成本影響較大設計方案的優化時, 就有利于設計人員進行全面分析、仔細考慮、認真權衡, 最大限度降低工程成本, 在投資限額內控制好工程造價。
送電線路工程典型造價是國家電網公司加強工程造價管理,降低工程造價,提高投資效益的重要手段。在送電線路典型設計的基礎上,按照各模塊的使用條件,通過對大量實際工程的統計、分析,合理確定典型工程斷面,再結合各地區各電壓等級線路的特點,科學設定設計所需的邊界條件,形成典型方案。然后,典型造價在典型方案的基礎上編制完成。典型造價成果體現了科學性,先進性,合理性和適用性。在實際工程設計中,必須按照典型造價進行嚴格把關,若工程主要條件與典型方案有差異而產生造價費用偏差,應對各項技術經濟指標進行嚴格認真的分析比較,直至該設計方案的造價指標在合理范圍內。推廣典型造價,有利于科學建立工程造價標準,合理評價工程技術經濟指標水平,有效控制工程投資,努力降低電網工程建設成本。
3.優化設計方案,有效控制工程造價
設計是工程建設的靈魂, 設計成果的好壞對造價影響很大,因此必須盡可能地優化設計成果。根據國家發展和改革委員會2007年的《電網工程建設預算編制與計算標準》的規定,架空送電線路工程靜態投資主要由四個方面構成:即本體工程費、輔助設施工程費、編制年價差和其他費用。本體工程費一般占65%～75%左右,輔助設施工程費一般占0.3%左右,編制年價差正常情況一般占5%～10%左右;其他費用一般占15%～30%左右。從投資構成上看,編制年價差雖然也占一定的投資比例,但它的高低主要受人工、材料、機械要素的市場價格波動影響,對投資主體來說為不可控因素,故對架空送電線路工程造價控制的重點應該是對本體工程費用控制和其他費用控制。
本體工程由六項單位工程構成:工地運輸、土石方工程、基礎工程、桿塔工程、架線工程、附件工程。按靜態投資對各個因素的敏感程度來排序,較高的是桿塔指標、人力運距、基礎混凝土。因此,在設計階段對本體工程的控制重點應主要控制這三個技術指標。
其他費用從構成上主要包括:建設場地征用及清理費,項目建設管理費、項目建設技術服務費、整套啟動試運費、生產準備費、輔助施工費、基本預備費等。除建設場地征用及清理費用外,其它各項費用一般有較明確的開支項目和費用標準,概預算編制也有規定的費率計取標準,管理和控制較容易,工程實踐中這些項目很少出現超支問題。因此,對其他費用的控制重點是在建設場地征用及清理費的控制。
(1)優化線路路徑
對送電線路來說, 路徑優化是設計工作的第一步, 也是控制工程造價的重要措施。路徑的選擇影響本體工程的多個單位工程,是影響整個工程造價的主要因素。設計人員在設計前,要十分重視沿線氣象條件、地形、地質、水文、污穢等級、現有可利用交通條件、重要交叉跨越、重大障礙物拆遷等資料的收集工作。不能片面追求路徑最短化,而必須在滿足所屬地區規劃部門要求及避讓通信、軍事等設施前提下,考慮安全運行、方便施工、降低造價、經濟運行、障礙物處理及大跨越情況基礎上,對線路路徑的多方案進行綜合比選,選擇技術經濟最優的方案,例如:拆除建筑物和居民住房, 砍伐經濟林木或防護林,跨越采石廠等都會增加拆遷補償費用,影響到其他費用中的建設場地征用及清理費的控制;不良地質會增加基礎建設投入;而不良地形更會增加工程的總體造價。
(2)合理選擇導線、地線
導線截面的選擇應綜合考慮線路的輸送目的地負荷容量及負荷增長情況、導線制造、架線施工、運行維護等多方面因素,進行技術、經濟的綜合比較。發揮地線在防雷保護、通信等方面的綜合作用,合理配置OPGW、良導體及普通地線,使選擇的導線、地線既要滿足技術上的要求,又要保證工程投資的經濟合理。
(3)合理規劃塔型
影響線路投資最敏感的因素就是塔材量, 不同的桿塔型式在造價、占地、施工、運輸和運行安全等方面均不相同。減少每公里塔材的耗鋼量是降低造價的最有效途徑。如每公里減少1 噸的塔材, 那么每公里可減少材料費及施工費用等各項投資約1 萬元。雖然每公里塔材的耗鋼量不可能無限制地減少, 但從以往工程統計分析看, 不同的線路在標準相差不多的條件下, 每公里塔材耗鋼量可相差幾噸。因此,在設計階段,必須根據工程地形地貌條件, 精心規劃工程需要的各種塔型,在滿足使用條件下選用耗鋼量較少的桿型;同時,降低線路曲折系數, 增加直線桿塔使用比例, 以降低桿塔耗鋼指標,從而控制工程造價。還可以結合近、遠景規劃,使用雙回路或多回路鐵塔,這樣目前工程的造價雖然會高了點,但為以后的工程建設項目預留下線路走廊,避免或減少了下個工程的工地運輸、土石方工程、基礎工程、桿塔工程的施工工程量及建設場地清理費,從總體上講還是會大大降低工程造價。
(4)優化桿塔基礎形式
桿塔基礎作為輸電線路結構的重要組成部分,它的造價、工期和勞動消耗量在整個線路工程中占很大比重。其施工工期約占整個工期一半時間,運輸量約占整個工程的60%,費用約占整個工程的20%～35%,基礎選型、設計及施工的優劣直接影響著線路工程的建設。在基礎設計方面, 根據每基桿塔的基礎作用力和地形地質條件,優先采用掏挖、嵌固、巖石基礎等原狀土基礎, 并積極采用技術先進的基礎型式和桿塔全方位高低腿、不等高基礎等, 可大大減少工程中土石方量和混凝土量, 同時也減少了對自然環境和地面植被的破壞, 有效地減少建設場地清理費,節約工程的投資。
4.加強設計變更的管理
在項目建設過程中, 不可避免會發生設計變更。設計變更有業主的功能性變更與設計的技術變更,設計變更管理主要是針對設計的技術變更管理。技術變更又分施工圖設計變更與施工中的設計變更,施工中的變更主要是材料設備采購變更和現場施工變更;施工圖設計變更會產生基礎或結構局部變更,從而影響工程的造價;再者,設計變更管理還涉及到變更所處的時間段的問題,對非發生不可的變更, 設計人員應主動深入了解情況,爭取把設計變更控制在最小范圍:在設計階段發生變更,只修改設計圖,損失就少;在采購階段發生變更,不僅要修改圖紙,還得要采購新的材料和設備;若是在施工階段發生變更,不但是設計圖和材料設備的變更,而且會造成返工、拆除、重做,勢必產生重大變更損失,造成浪費。總之,要嚴格控制設計變更,變更前要算好賬,論證其合理性、必要性再變更,嚴格履行變更程序,加強設計變更管理,使變更控制在限額內,達到有效地控制工程造價。
5.形成跟蹤制度
設計部門應形成跟蹤制度,主動跟蹤工程項目的建設過程直至工程財務決算。對發生“三超”的工程項目,設計部門應及時總結發生問題的主、次方面原因,區分對待。屬于因設計階段造成的,應針對其發生的原因,制定對應的規范、規定,保證同類型的問題在今后的工程中不再發生。同時,應加強與兄弟設計單位的橫向聯系,借鑒其優點與不足之處。
