微細(xì)加工技術(shù)雜志

微細(xì)加工技術(shù)雜志介紹

《微細(xì)加工技術(shù)》是一本由信息產(chǎn)業(yè)部主管，中國電子科技集團(tuán)公司第48研究所主辦的一本面向國內(nèi)外公開發(fā)行的電子類期刊，該刊主要報道電子相關(guān)領(lǐng)域的研究成果與實踐。該刊已入選統(tǒng)計源期刊。 《微細(xì)加工技術(shù)》主要內(nèi)容欄目有綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機(jī)械加工技術(shù)、納米技術(shù)。

《微細(xì)加工技術(shù)》主要發(fā)文機(jī)構(gòu)有：中國科學(xué)院（發(fā)文量192篇），該機(jī)構(gòu)主要研究主題為“光刻；電子束曝光；曝光機(jī)；電子束曝光機(jī)；掩模”；上海交通大學(xué)（發(fā)文量129篇），該機(jī)構(gòu)主要研究主題為“微機(jī)電系統(tǒng)；電系統(tǒng)；機(jī)電系統(tǒng)；MEMS；刻蝕”；清華大學(xué)（發(fā)文量60篇），該機(jī)構(gòu)主要研究主題為“微細(xì)；光刻；微細(xì)加工；離子束；聚焦離子束”。

《微細(xì)加工技術(shù)》主要發(fā)文主題有光刻、離子注入、電子束曝光、刻蝕、半導(dǎo)體、電路、微細(xì)、集成電路、微細(xì)加工、曝光機(jī)。其中又以”光刻（151篇）”居于榜首，發(fā)文量第二的是“離子注入”（105篇），發(fā)文量第三的是“電子束曝光”（79篇），發(fā)文主題最少的是“曝光機(jī)”，僅發(fā)文57篇。

微細(xì)加工技術(shù)影響力及榮譽

• 知網(wǎng)收錄(中)
• 維普收錄(中)
• 萬方收錄(中)
• EI 工程索引(美)
• 國家圖書館館藏
• 上海圖書館館藏
• Caj-cd規(guī)范獲獎期刊
• 北大圖書館收錄期刊

微細(xì)加工技術(shù)投稿注意事項

1、來稿要求：

本刊歡迎下列來稿：電子及相關(guān)學(xué)科領(lǐng)域的研究方面的論著，反映國內(nèi)外電子學(xué)術(shù)動態(tài)的述評、論著、綜述、講座、學(xué)術(shù)爭鳴的文稿，以及有指導(dǎo)意義的電子書刊評價等。文稿應(yīng)具科學(xué)性、先進(jìn)性、新穎性和實用性，內(nèi)容翔實，簡明扼要，重點突出，文字?jǐn)?shù)據(jù)務(wù)求準(zhǔn)確，層次清楚，標(biāo)點符號準(zhǔn)確，圖表規(guī)范，書寫規(guī)范。本刊不接受已公開發(fā)表的文章，嚴(yán)禁一稿兩投。對于有涉嫌學(xué)術(shù)不端行為的稿件，編輯部將一律退稿，來稿確保不涉及保密、署名無爭議等，文責(zé)自負(fù)。

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